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芯片技術(shù)發(fā)展趨勢
點(diǎn)擊次數(shù):894 發(fā)布時間:2008/6/18 10:03:15
目前的外延技術(shù)可以使得InGaN有源層在常溫和普通注入電流條件下的內(nèi)量子效率達(dá)到90-95%,但當(dāng)溫度升高時,內(nèi)量子效率會有較大的下降,因此要提高發(fā)光效率必須控制結(jié)溫和提高出光效率?;谶@點(diǎn),技術(shù)發(fā)展趨勢如下:
1)襯底剝離技術(shù)(Lift-off
  這項技術(shù)首先由美國惠普公司在AlGaInP/GaAs LED上實現(xiàn), GaAs襯底使得LED內(nèi)部光吸收損失非常大,通過剝離GaAs襯底,然后粘接在透明的GaP襯底上,可以提高近2倍的發(fā)光效率。藍(lán)寶石襯底激光剝離技術(shù)(LLO)是基于GaN的同質(zhì)外延發(fā)展的一項技術(shù),利用紫外激光照射襯底,熔化緩沖層而實現(xiàn)襯底的剝離。2003年2月,OSRAM用LLO工藝將藍(lán)寶石去除,將LED出光效率提至75%,是傳統(tǒng)LED的3倍,目前他們已擁有了第一條LLO生產(chǎn)線。
2)表面粗化技術(shù)
  可以提高出光效率,但直接粗化容易對有源層造成損傷,同時透明電極更難制備。目前通過改變外延片生長條件得到表面粗化是一個較為可行的工藝。
3)制備基于二維光子晶體的微結(jié)構(gòu)
  這也是提高出光效率的一個途徑,2003年9月日本松下電器制備出光子晶體的LED,其直徑1.5微米,高0.5微米的凹凸可以增加60%的出光。
4)倒裝芯片技術(shù)(Flip-Chip
  較好地解決電極擋光和藍(lán)寶石不良散熱問題,從藍(lán)寶石襯底面出光。根據(jù)美國Lumileds公司的結(jié)果,倒裝芯片約增加出光效率1.6倍。
5)芯片表面處理技術(shù)
  主要技術(shù)途徑采用了用表面微結(jié)構(gòu)或表面紋理結(jié)構(gòu)(Surface Texture)化提升正面出光效率。紫外光LED表面通過圖形轉(zhuǎn)換(Patterning)技術(shù)提高光功率,對表面進(jìn)行加工后,提高了紫外光LED的取光效率。
6)全方位反射膜
7)發(fā)展大功率大尺寸芯片
  大尺寸芯片設(shè)計要注意到兩個問題,一是大驅(qū)動電流下光效下降問題;二是低擴(kuò)散電阻的P電極設(shè)計,盡量降低電功率耗散產(chǎn)生的熱效應(yīng)。
8)提高側(cè)向出光的利用效率
  需要對發(fā)光區(qū)底部的襯底(正面出光)或者外延層材料(背面出光)進(jìn)行特殊的幾何規(guī)格設(shè)計、并在適當(dāng)?shù)膮^(qū)域涂覆高反層薄膜,從而提高器件的側(cè)向出光利用率,提高輸出功率。
 
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